一體式原子力顯微鏡 

◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體，穩(wěn)定可靠；
◆ 精密激光及探針定位裝置，更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡(jiǎn)單方便；
◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針，準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域，使針尖垂直于樣品掃描；
◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞剑Ｗo(hù)探針及樣品；
◆ 高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，可根據(jù)不同精度和掃描范圍要求選擇；
◆ 10X復(fù)消色差物鏡光學(xué)定位，無(wú)需調(diào)焦，實(shí)時(shí)觀測(cè)

技術(shù)參數(shù)

◆ 基本工作模式：接觸模式、輕敲模式、F-Z力曲線測(cè)量、RMS-Z曲線測(cè)量
◆ 選配工作模式：摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力和靜電力
◆ 樣品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
◆ 掃描范圍：XY向50um，Z向5um（可選配XY向110um，Z向10um）
◆ 掃描分辨率：XY向0.2nm，Z向0.05nm
◆ 樣品移動(dòng)范圍：0~20mm
◆ 光學(xué)放大倍數(shù)10X，光學(xué)分辨率1um（可選配20X，光學(xué)分辨率0.8um）
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz，掃描角度0~360°
◆ 掃描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
◆ 數(shù)據(jù)采樣：14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式：DSP數(shù)字反饋
◆ 反饋采樣速率：64.0KHz
◆ 通信接口：USB2.0/3.0
◆ 運(yùn)行環(huán)境：WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)